【摘 要】
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首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响,然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例,通过推导,提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对,证明该补偿方法切实
【机 构】
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中科院合肥智能机械研究所,中科院合肥智能机械研究所,中科院合肥智能机械研究所,
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首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响,然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例,通过推导,提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对,证明该补偿方法切实可行,提高了传感器的性能。
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