切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
电子气体系统技术应用现状和发展趋势
电子气体系统技术应用现状和发展趋势
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chengyao54321
【摘 要】
:
论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
【作 者】
:
李东升
黄勇
【机 构】
:
上海正帆超净技术有限公司
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2007年03期
【关键词】
:
电子气体
特种气体
大宗特气
输送系统
纯度控制
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
其他文献
中考作文训练三要略
期刊
中考作文
全命题作文
材料作文
思维导图,促进阅读教学“读法写法”结合——以《凡卡》一文教学为例
本文以《凡卡》为例,在教学时采取思维导图的方式来进行阅读教学,强化学生的思维训练,同时让学生对读法和写法有个系统化的认知,从而提升阅读教学的效果。
期刊
思维导图
巧用读法
善讨读法
读写结合
中国农药数字监督管理平台总体设计及建设进展
本文介绍了中国农药数字监督管理平台的建设背景、总体思路、功能设计,以及当前的阶段性建设进展,并对平台未来建设进行了展望。
期刊
中国农药数字监督管理平台
农药
数字化
平台
介绍
浅谈某采石场止水施工技术方案
负地形采石场的开采,在排干场内地下水的同时必然会引起周围地面的沉降。影响到附近周边人民群众的财产安全,也影响到石场的开采安全。所以采取有效的止水措施,是石场开采安
期刊
地面塌陷
落水洞
溶洞
灌浆
灌浆压力
《西游记》中的选择疑问句
《西游记》是一部基本上用明代口语写作的白话文献,是我国近代一部重要的白话文学作品,从汉语史的角度研究这些材料,对于我们认识当时的语言特点及其在汉语发展史中的地位无疑具
期刊
并列选择问句
《西游记》
疑问句
现代汉语
《水浒传》
正反问句
关联词语
疑问副词
反复问句
液相色谱-串联质谱法测定饲料中喹乙醇残留
建立饲料中喹乙醇残留量的高效液相色谱-串联质谱检测方法。试样用乙腈溶液振荡提取,经正己烷脱脂,浓缩定容后用液相色谱-串联质谱仪测定,基质配标,外标法定量。在10.0、50.0
期刊
喹乙醇
饲料
液相色谱-串联质谱
《三国志》札记二则
一、汉末皇家宗庙曾几迁东汉末年,由于董卓之乱与各地的割据混战,以献帝为首的东汉中央政权曾被迫多次迁徙,而天子宗庙也随之多次被毁坏,并辗转多地。梁满仓先生在其《魏晋南北朝
期刊
宗庙祭祀
《三国志》
汉献帝
宗庙制度
金融危机下企业融资现状及对策研究
美国金融危机席卷全球,中国经济也未能独善其身。从虚拟经济影响到实体经济,中国的企业进入了“寒冬”,融资困难上演了很多企业走向倒闭的悲剧。中国企业要解决融资难题,就要加快
期刊
金融危机
企业
融资
湿润烧伤膏治疗跟腱外露
跟腱外露治疗方法多以非手术治疗为主,缺点是治疗时间长,且为瘢痕性愈合,愈后功能差。应用皮肤再生医疗技术,外用湿润烧伤膏治疗,患者大多数都能Ⅰ期愈合,仅有轻度瘢痕形成,无功能障
期刊
湿润烧伤膏
竞技体育与群众体育的协调发展分析
纵然中国的体育事业的发展速度飞快,但是其发展中出现的不平衡现象也十分明显,竞技体育成绩突出而群众体育发展相对滞后,随着中国全民健身活动的开展,国民体质健康越来越受到
期刊
竞技体育
群众体育
体育文化
协调发展
与本文相关的学术论文