论文部分内容阅读
助焊剂残留物中含有卤素、酸等化学成分，在潮湿环境下会腐蚀芯片表面，产生隐患或失效、气相清洗具有无毒、无损、清洗效果好等优点。由于被气化的气相清洗剂蒸汽本身不存在不可汽化的污染物，让被清洗工件始终只接触清洁的气相清洗溶剂蒸汽，从而实现了高效的清洗。由于这一过程工件中的裸芯片不会遭受机械振动，也没有超声空化等效应，尤其适宜于对含有裸芯片的微电子组件进行清洗。