【摘 要】
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应用Elenbass-Heller局部能量平衡方程及TM010模式下的微波场Maxwell方程,在简化的物理模型基础上采用数值计算的方法模拟得微波(2 450 MHz)无极放电的Hg等离子体的温度分布
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应用Elenbass-Heller局部能量平衡方程及TM010模式下的微波场Maxwell方程,在简化的物理模型基础上采用数值计算的方法模拟得微波(2 450 MHz)无极放电的Hg等离子体的温度分布轮廓. 通过自建实验装置的实验测量,将理论模似与实验结果进行对比验证. 最后用趋肤效应的理论解释微波激发等离子体温度分布的特点. 同时对微波等离子体的温度分布轮廓进行讨论.
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