【摘 要】
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用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入氮 /钛改性层的结构。结果表明 ,氮在注入层呈高斯分布 ,而钛沿注入方向逐渐减少。
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用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入氮 /钛改性层的结构。结果表明 ,氮在注入层呈高斯分布 ,而钛沿注入方向逐渐减少。钛的注入对已注入的氮的分布有重要影响。钛的等离子体密度直接影响钛在改性层中的成分、相结构。改性层主要由TiO2 ,Al2 O3 ,AlN ,TiAl3 ,TiN或Ti组成。
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