A Dependence of Crystallinity of In2O3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on th

来源 :现代物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：purplerain9112

【摘要】

：

A difference in crystallinity of In2O3 thin films on sapphire substrates by heat treatment of indium films was reported. Indium films were heated in an inert at

【作者】

：

Yuichi Sato Fumito Otake Hirot

【机构】

：

不详

【出处】

：

现代物理(英文)

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

：

Solid Phase EPITAXY Oxides SAPPHIRE SEMICONDUCTING Materials Solid Phase Epitaxy

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A difference in crystallinity of In2O3 thin films on sapphire substrates by heat treatment of indium films was reported. Indium films were heated in an inert atmosphere or in air until they reached a specified temperature and then oxidized in air at much

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