Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理

来源 :西南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：my_owenlin

【摘要】

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应用Collins模型 ,计算了Mo原子表面扩散激活能 .根据实验结果 ,论证了如下结论 :在制备Mo2 C膜的过程中 ,Mo(CO) 6的变化遵从先被基底吸附 ,发生相变再进行级联式分解的两步

【作者】

：

郑瑞伦龙晓霞

【机构】

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西南师范大学物理系,渝州教育学院物理系

【出处】

：

西南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2000年04期

【关键词】

：

扩散激活能 Mo2C膜成膜机理

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应用Collins模型 ,计算了Mo原子表面扩散激活能 .根据实验结果 ,论证了如下结论 :在制备Mo2 C膜的过程中 ,Mo(CO) 6的变化遵从先被基底吸附 ,发生相变再进行级联式分解的两步机制 ;其成膜过程是Mo(CO) 6先分解 ,再由Mo碳化为Mo2 C成膜 .用Gibbs函数最小的原理 ,探讨了成膜的适宜温度

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