【摘 要】
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在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上,建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型.参考工作流过程定义语言XPDL,并对其进行了扩展和修改,充分考虑微机械系统设计过程的特
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学机械工程学院CAD／CAM研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50375118,50145006）,教育部科技基金资助重点项目（2001-066）
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在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上,建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型.参考工作流过程定义语言XPDL,并对其进行了扩展和修改,充分考虑微机械系统设计过程的特点,提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言（MDPDL）,介绍了其设计和实现的基本思想,用实例验证了该语言的有效性.
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