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采用化学气相沉积法制备了定向碳纳米管薄膜，研究了向反应室载入水、氨水对定向碳纳米管薄膜的影响，并用SEM、TEM、XRD对碳纳米管进行了表征。结果表明：向反应室载入水的量增大，定向碳纳米管的长度先增加后减小。载入水的氩气流量为400ml／min，定向碳纳米管的长度1750μm；向反应室载入氨水，得到疏密相间排列的定向碳纳米管薄膜，氨水量增加，定向碳纳米管薄膜的厚度减小。