【摘 要】
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真空镀膜设备的漏气是工业化镀膜生产过程和科学实验中最头疼的问题,它对镀膜工艺有着显著的影响,尤其是微漏,在开始时很难检测得到,使得正常生产或做实验样品时做出来的产品
【机 构】
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深圳市雷莱德科技有限公司,广东深圳518067
【出 处】
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珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会
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真空镀膜设备的漏气是工业化镀膜生产过程和科学实验中最头疼的问题,它对镀膜工艺有着显著的影响,尤其是微漏,在开始时很难检测得到,使得正常生产或做实验样品时做出来的产品的性能参数不稳定、时好时坏,造成工艺人员或实验人员不知从何下手,是设备问题还是工艺问题?模棱两可,设备人员推脱是工艺问题,工艺人员推说是设备问题,检漏又找不到漏点,莫衷一是.出现这样的情况往往都是微漏引起的,并且大多数情况下都是传动密封的微漏引起的.本文将结合自己从事真空镀膜多年的设备改造和生产管理的经验对传动密封和由此产生的微漏系统地做些介绍.
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