【摘 要】
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采用压痕试验法的临界开裂（或剥落）载荷PCr和抗裂性参数dP/dX两指标系统，评定了硬质合金基体经不同预处理工艺和沉积工艺参数全盛的金刚石膜的粘附性能。探讨了粘附性能指标与基
【机 构】
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广东工业大学实验研究中心,华南理工大学机械电子工程系
【基金项目】
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广东省博士启动基金! (990 0 38),广东省高教厅重点课题! (990 0 46 )联合资助项目
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采用压痕试验法的临界开裂（或剥落）载荷PCr和抗裂性参数dP/dX两指标系统，评定了硬质合金基体经不同预处理工艺和沉积工艺参数全盛的金刚石膜的粘附性能。探讨了粘附性能指标与基体表面钴相含量、表面粗糙度、主要沉积工艺参数（如甲烷浓度、沉积气压、沉积功率）、膜中残余应力之间的内在关系。适当的基体表面预处理、合适的甲烷浓度、较低的沉积气压、较高的沉积功率、适中的残余应力均有利于改善硬质合金基体上金刚石膜的粘附性能。
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