【摘 要】
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利用MIS结构研究了长,中,短波碲镉汞材料,新型热蒸发CdTe/ZnS钝化膜界面电学特性及其工艺条件的关系,结果表明,CdTe/ZnS双层膜界面化学参数依赖于界面预处理条件在适当的工艺条件下,平带电压几乎为0,固定
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,华南师范大学物理系
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利用MIS结构研究了长,中,短波碲镉汞材料,新型热蒸发CdTe/ZnS钝化膜界面电学特性及其工艺条件的关系,结果表明,CdTe/ZnS双层膜界面化学参数依赖于界面预处理条件在适当的工艺条件下,平带电压几乎为0,固定电荷密度为-4×10^10cm^-2,慢态密度为5.1×10^10cm^-2,界面态密度为2.7×10^-11eV^-1.cm^-2。
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