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采用溶胶-凝胶法制备ZnO缓冲层，并在其上沉积ZnO薄膜。研究了匀胶的膜厚控制公式，达到对膜厚的控制。采用X射线衍射仪和原子力显微镜分析了缓冲层厚度对ZnO薄膜结晶质量和表面形貌的影响规律。
ZnO薄膜中缓冲层厚度的研究
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制备ZnO缓冲层，并在其上沉积ZnO薄膜。研究了匀胶的膜厚控制公式，达到对膜厚的控制。采用X射线衍射仪和原子力显微镜分析了缓冲层厚度对ZnO薄膜结晶质量和表面
【机 构】
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装备指挥技术学院士官系
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2009年3期
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