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电介质瓷料流延膜的制作是生产多层陶瓷电容器(MLC)的关键工序,流延膜的平整度,致密性,表面形貌等是影响MLC的性能和可靠性的关键因素之一.原子力显微镜(AFM)可不经导电处理直接观察电介质瓷膜的表面微结构.
多层陶瓷电容器流延瓷膜的原子力显微镜分析
【摘 要】
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电介质瓷料流延膜的制作是生产多层陶瓷电容器(MLC)的关键工序,流延膜的平整度,致密性,表面形貌等是影响MLC的性能和可靠性的关键因素之一.原子力显微镜(AFM)可不经导电处理
【机 构】
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电子科技大学材料分析中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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