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问题的提出工件台是扫描光刻机核心分系统之一,具有水平向和垂向六自由度,在扫描曝光过程中,承载硅片或基板水平向高速运动,同时通过不断调整垂向位姿,使曝光区域的硅片或基板上表面总体上与物镜焦面重合。硅片或基板表面形貌按空间分布,可分为整体面形和局部面形两部分。
时间滤波器在工件台设定值滤波中的应用
【摘 要】
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问题的提出工件台是扫描光刻机核心分系统之一,具有水平向和垂向六自由度,在扫描曝光过程中,承载硅片或基板水平向高速运动,同时通过不断调整垂向位姿,使曝光区域的硅片或基
【机 构】
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上海微电子装备有限公司
【出 处】
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今日电子
【发表日期】
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2015年7期
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