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近年来，径向偏振光因为其特殊的偏振特性而受到广泛的关注。本文以耦合波理论中的T矩阵算法为基础，用Matlab语言编制了能够计算多层复合结构光栅的程序算法，并用此程序算法对多层光栅模型进行了理论模拟。综合模拟结果，设计出光栅周期为1000 nm、槽深为70 nm、占空比为0.5和Ti2 O5/SiO2交替镀膜35层数的径向偏振反射腔镜，并通过微纳加工工艺制备出光栅反射腔镜样品，将其应用于自行搭建的Nd ∶YAG激光器系统中，获得了输出功率12.6 W，偏振纯度为96％的径向偏振光。