基于标记点的子孔径全局优化拼接检测法

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为实现小口径干涉仪完成较大口径光学平面镜片的测试,得到镜片的完整面形信息,提出了基于标记点的平面Givens变换,实现了子孔径的精确定位。采用Zernike多项式拟合对每个子孔径数据进行了消倾斜量的处理。建立了全局优化拼接数学模型。利用该模型进行了九孔径拼接计算机仿真实验,利用该方法得到的PV值和RMS值的相对误差均在10-6左右。对直径为150mm的镜片进行九孔径拼接检测实验,对比全口径干涉检测结果,PV值和RMS值的相对误差为0.36%和2.27%。仿真和实验结果证明:该方法稳定可靠,降低了传统
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