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Ｎ注入Ｇａｐ中深度分布已被ＳＩＭＳ和＾１４Ｎ（Ｄ，ａ）＾１２Ｃ核反应测出，可用拟合程序拟合出在不同注入条件下Ｎ的分布参数，其分布参数是用皮尔逊ＩＶ型分布曲线拟合的。拟合出的参数同ＴＲ１Ｍ８９程序和邵其均等人的计算结果作了比较，拟合结果与计算结果是一致的。
注入离子分布参数的拟合研究
【摘 要】
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Ｎ注入Ｇａｐ中深度分布已被ＳＩＭＳ和＾１４Ｎ（Ｄ，ａ）＾１２Ｃ核反应测出，可用拟合程序拟合出在不同注入条件下Ｎ的分布参数，其分布参数是用皮尔逊ＩＶ型分布曲线拟合的。拟合出的参数同ＴＲ１Ｍ８９程序和邵其均等人的计算结果作了比较
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心
【出 处】
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北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年1期
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