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用X射线双晶衍射测量碲镉汞晶片表面的加工损伤
用X射线双晶衍射测量碲镉汞晶片表面的加工损伤
来源 :红外与激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zgm_19780916
【摘 要】
:
用X射线双晶衍射法测量了x=0.273、晶向为[110]的碲镉汞晶体在切、磨过程中引入的加工损伤,测出了在切割、M5金刚砂研磨过程中产生的损伤层厚度分别为4μm~7#m、12μm~20μm,并
【作 者】
:
蔡毅
何永成
【机 构】
:
昆明物理研究所,昆明物理研究所
【出 处】
:
红外与激光技术
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
碲镉汞
晶片
损伤
测量
X射线
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用X射线双晶衍射法测量了x=0.273、晶向为[110]的碲镉汞晶体在切、磨过程中引入的加工损伤,测出了在切割、M5金刚砂研磨过程中产生的损伤层厚度分别为4μm~7#m、12μm~20μm,并测出在碲锅汞晶体中存在大量取向差为90'~810'之间的亚晶块.
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