不锈钢负载纳米TiO2光催化膜制备及对气相甲醛降解特性研究

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【摘要】

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以厚度0.1mm的1Cr18Ni9Ti不锈钢箔片为载体,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧

【作者】

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张宗权杨宗立袁胜利刘志存张建民

【机构】

：

陕西师范大学物理学与信息技术学院

【出处】

：

机械工程材料

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

不锈钢负载纳米TIO2薄膜甲醛 stainless steeldepositeTiO_2 filmHCHO

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以厚度0.1mm的1Cr18Ni9Ti不锈钢箔片为载体,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析可见薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量分数约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对气相甲醛降解试验可见,制备的TiO2薄膜具有较好的光催化活性.随着对纳米TiO2光催化特性研究的深

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