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等离子体预处理对于太阳能电池性能的影响
等离子体预处理对于太阳能电池性能的影响
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anyok1979
【摘 要】
:
在这个研究中,我们验证等离子体预处理对太阳能电池性能的影响,也就是SiNx:H层的性能。我们发现预处理的时间对于沉积物SiNx:H层影响比较小,较短的PECVD预处理时间,其钝化作用相对
【作 者】
:
李小玄
孙占峰
王伟
罗飞
孙涛
王宝磊
【机 构】
:
西安黄河光伏科技股份有限公司
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2014年6期
【关键词】
:
太阳能板
钝化
PECVD
SINX
H
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在这个研究中,我们验证等离子体预处理对太阳能电池性能的影响,也就是SiNx:H层的性能。我们发现预处理的时间对于沉积物SiNx:H层影响比较小,较短的PECVD预处理时间,其钝化作用相对于长时间预处理更加有效。同时,预处理时间在300秒范围内对于太阳能板的效率起着次要作用。
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