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改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物sicl4外，还有siHcl3、Hcl、H2和siH2CI2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污染。本文就改良西门子法生产多晶硅的过程中产生的主要尾气sicl4提出相应的处理方法和综合解决建议。
多品硅生产中尾气SiCl4的处理探析
【摘 要】
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改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物sicl4外，还有siHcl3、Hcl、H2和siH2CI2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污染。本文就改良西门子法生产多晶硅的过程中产生
【机 构】
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江西渝州科技职业学院新能源工程学院
【出 处】
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无线互联科技
【发表日期】
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2013年9期
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