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介绍了一种微米光栅加速度计及其原理，分析了此加速度计采用的双端固支梁结构的机械性能．利用ANSYS建立其三维实体有限元模型，对在惯性载荷作用下的双端固支梁的机械灵敏度进行了模拟，并对双端固支梁结构进行了模态分析；讨论了各参数变化对灵敏度、固有频率等主要指标的影响程度，并优化了机械结构参数，达到了优化设计的目的．