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Ba(1-x)PbxTiO3是重要的电子陶瓷材料,具有优良的电学性能.而Ba(1-x)PbxTiO3薄膜更是重要的电子元件材料.薄膜材料一般是通过离子溅射、等离子体法、溶胶-凝胶法、气相淀积等工艺制备的,这些工艺各有优缺点,主要是可操作性和薄膜的质量问题.
气相法掺铅钛酸钡薄膜的微观形态变化
【摘 要】
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Ba(1-x)PbxTiO3是重要的电子陶瓷材料,具有优良的电学性能.而Ba(1-x)PbxTiO3薄膜更是重要的电子元件材料.薄膜材料一般是通过离子溅射、等离子体法、溶胶-凝胶法、气相淀积等
【机 构】
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河北化工医药职业技术学院化学系,河北师范大学实验中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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