在中国国家自然科学基金重大项目《先进电子制造中的重要科学技术问题研究》资助下，针对“面向芯片封装的高加速度运动系统的精确定位与操纵”所涉及的科学问题开展理论研究和工程研发。认为其实现理想途径是设计一种高推重比、直接驱动、无/极低摩擦，并具有可控阻尼特性的运动平台及其相应的位置伺服、视觉定位及力控制系统。对于运动定位而言，关键是协调机电系统的多影响参数，使系统在极短的时间内到达稳定状态；对于操作而言，关键是确定目标点的精确位置、实现位控到力控的快速切换。研究内容包含运动平台运动学和动力学建模及设计、运动控制器设计、自适应减振、机器视觉定位、力控制等单元技术，以及相关原型系统研制和集成环境构建，从而形成一套完整的高性能运动定位和装配系统的设计理论。报告研究所涉及的高性能运动平台的运动学、动力学建模及设计方法，自适应减振理论和方法，基于实时机器视觉的精密定位，基于多传感器信息的精密操作的理论成果。