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本文叙述了肖特基二极管保护环结构的作用，设计及制备方法，在应用结果中将新旧工艺进行了比较，表明保护环结构对改善器件的反向特性及提高管芯成品率效果显著。
肖特基二极管保护环结构的研究
【摘 要】
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本文叙述了肖特基二极管保护环结构的作用，设计及制备方法，在应用结果中将新旧工艺进行了比较，表明保护环结构对改善器件的反向特性及提高管芯成品率效果显著。
【机 构】
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山东济南半导体研究所250013
【出 处】
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山东电子
【发表日期】
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1997年1期
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