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在电共沉积GaAs薄膜上制作肖特基势垒的研究

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ASD121406113

【摘 要】

：

应用化学电共沉积法在Ti片、导电玻璃和导电PI基片上制备了GaAs多晶薄膜,并在薄膜上应用电子束蒸发淀积了一层超薄的SiOx,然后采用PVD法在其上淀积一层金属薄层,制备出MIS结

【作 者】

：

曹一江 王喜莲 王磊 韩爱珍 高元恺 

【机 构】

：

哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨工业大学航天学院

【出 处】

：

太阳能学报

【发表日期】

：

2007年8期

【关键词】

：

电共沉积 肖特基势垒 GaAs薄膜 electrodeposion  schottky barriers  GaAs film 

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应用化学电共沉积法在Ti片、导电玻璃和导电PI基片上制备了GaAs多晶薄膜,并在薄膜上应用电子束蒸发淀积了一层超薄的SiOx,然后采用PVD法在其上淀积一层金属薄层,制备出MIS结构的肖特基势垒.经测试Ag-SiOx-nGaAs结构和Au-SiOx-nGaAs结构的Ⅰ-Ⅴ特性,表明所制备的肖特基势垒具有良好的整流特性.

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