【摘 要】
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与10年前相比,采用砂浆的切片技术在单根晶棒上可以实现1000片的,今天,采用金刚线的切片技术可以使得这个数字发展到高达3500片,这意味着,仅在这个环节,单晶硅晶片的成本就达到了大幅度的下降,然而,这意味着更高的控制需求。通过放卷张力控制、经过多个辊(双或三主辊)的排线、棒料的进给、收卷,并且通过金刚线的往复实现切割,以提高金刚线的利用率。整个金刚线切片系统要达到非常高精度、稳定的张力控制,机器才能确保切割的稳定,高效,达到高品质的生产,并较之以往的浆料切片更高的产出。
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与10年前相比,采用砂浆的切片技术在单根晶棒上可以实现1000片的,今天,采用金刚线的切片技术可以使得这个数字发展到高达3500片,这意味着,仅在这个环节,单晶硅晶片的成本就达到了大幅度的下降,然而,这意味着更高的控制需求。通过放卷张力控制、经过多个辊(双或三主辊)的排线、棒料的进给、收卷,并且通过金刚线的往复实现切割,以提高金刚线的利用率。整个金刚线切片系统要达到非常高精度、稳定的张力控制,机器才能确保切割的稳定,高效,达到高品质的生产,并较之以往的浆料切片更高的产出。
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