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期刊论文
国外光刻胶及助剂的发展趋势
国外光刻胶及助剂的发展趋势
来源 :精细与专用化学品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snakegmj
【摘 要】
:
<正>光刻是半导体产业常用的工艺,借助光刻胶可将印在光掩膜上的图形结构转移到硅片表面上。光掩膜制备也是一个光刻过程,不过其所用化学品不同。
【作 者】
:
王雪珍
【机 构】
:
中国化工信息中心,
【出 处】
:
精细与专用化学品
【发表日期】
:
2009年09期
【关键词】
:
光刻胶
光掩膜
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<正>光刻是半导体产业常用的工艺,借助光刻胶可将印在光掩膜上的图形结构转移到硅片表面上。光掩膜制备也是一个光刻过程,不过其所用化学品不同。
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