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期刊论文
冷等离子体固体表面改性的物理化学机理
冷等离子体固体表面改性的物理化学机理
来源 :哈尔滨学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WSZYC
【摘 要】
:
冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂.本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存
【作 者】
:
谭凯
【机 构】
:
哈尔滨学院物理与电子工程系
【出 处】
:
哈尔滨学院学报
【发表日期】
:
2002年8期
【关键词】
:
冷等离子体
固体表面改性
物理化学机理
Cold Plasma
surface modification
【基金项目】
:
黑龙江省教育厅科学技术研究项目,哈尔滨学院校科研和教改项目
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冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂.本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存在的问题.
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