冷等离子体固体表面改性的物理化学机理

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冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂.本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存在的问题.
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