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本文提出了一种采用脉冲MOS结构测量少子产生寿命的统一表征谱方法,此方法基于任何一种收敛弛豫过程均可以转换成一种衰减的指数函数的思想,应用关以样原理获得脉冲MOS结构瞬态电容差值谱,从谱图中我们可以直接得到关于少子产生寿命信息。本文综合了众多脉冲MOS结构测量少子产生寿命的物理模型,分析了不同模型之间的精细差别。