【摘 要】
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提出一种压电效应和电磁效应相结合的微型能量采集器,基础结构为压电换能器（PZT）基八悬臂梁、长有Au线圈质量块、铷铁硼（Nd Fe B）永磁体。利用有限元分析软件ANSYS对微结构建立模
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51422510）, 国家“863”计划资助项目（2015AA042601）
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提出一种压电效应和电磁效应相结合的微型能量采集器,基础结构为压电换能器（PZT）基八悬臂梁、长有Au线圈质量块、铷铁硼（Nd Fe B）永磁体。利用有限元分析软件ANSYS对微结构建立模型,通过结构力学特性分析,得到所设计结构的一阶谐振频率为214.7 Hz,为后期测试提供指导意义。制定微机电系统（MEMS）加工工艺流程,利用L-Edit软件设计并绘制所需掩模版。利用溶胶—凝胶（sol-gel）技术制备厚度为3 529 nm的PZT压电厚膜,实现了其与基底Pt/Ti/Si O2/Si/Si O2的良好异质
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