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微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义,文章介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微电动机为例,详细比较了其执行机制和原理.
微执行器驱动机理研究
【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义,文章介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微电动机为例,详细比较了其执行机制和原理.
【机 构】
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西昌学院,电子科技大学
【出 处】
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微电机(伺服技术)
【发表日期】
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2004年7期
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