【摘 要】
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为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器
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为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度。实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点。
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