【摘 要】
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我们采用电子束蒸发淀积得到了光学（折射率）匹配良好的Ta2O5和SiO2体系,Ta2O5和SiO2膜的折射率分别为2.15和1.45。测定了0.3—0.9μm光谱范围内Ta2O5单层膜的透过率和双层膜在0
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我们采用电子束蒸发淀积得到了光学（折射率）匹配良好的Ta2O5和SiO2体系,Ta2O5和SiO2膜的折射率分别为2.15和1.45。测定了0.3—0.9μm光谱范围内Ta2O5单层膜的透过率和双层膜在0.4—0.9μm范围内的反射率分布。对蒸有厚度匹配良好的双层膜的硅电池,测得的平均反射率低于5％。 提出了一个以测定太阳电池在蒸发减反射膜前后的短路电流来估算平均有效反射的方法。估算结果和测定值非常近似,可用于蒸膜工艺和对膜质量的鉴定。
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