【摘 要】
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阐述了用反向法对高精度轴系回转误差测试的过程及测试的一些结果。对轴系各种测试方法作了简单介绍，重点介绍了“二元光学元件激光直接写入设备”轴系回转误差的测试过程。测
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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阐述了用反向法对高精度轴系回转误差测试的过程及测试的一些结果。对轴系各种测试方法作了简单介绍，重点介绍了“二元光学元件激光直接写入设备”轴系回转误差的测试过程。测得轴系的回转误差为0.018μm。对反向法测试原理、误差分离的数学方法及实际应用，进行了描述。总结了影响测量结果重复性的几个因素。测试结果证明，此方法简单实用、结果准确，适合于精密机械设计人员使用。
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