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介绍该室研制的作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据该室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为５×１０＾－１－５×１０＾－８Ｐａ。采用单片机Ｉｎｔｅｌ８０３１，使设备结构简单、使用方便、运行可靠、功能可扩。
作为真空控制传感器的智能超高真空计的研制
【摘 要】
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介绍该室研制的作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据该室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为５×１０＾－１－５
【机 构】
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安徽合肥中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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电子技术应用
【发表日期】
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1998年7期
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