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碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性.文章对Si 1-x-yGexCy合金材料物理特性的研究现状进行了概述,重点分析了替位式碳原子在Si1-xGex合金应变补偿和能带工程中的作用,并对其行为机理进行了分析和总结.
Si1-x-yGexCy合金材料物理特性研究进展
【摘 要】
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碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性.文章对Si 1-x-yGexCy合金材料物理特性的研究现状进行了概述,重点分析了替位式碳原子在Si1-xGex合金应变补偿和能
【机 构】
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西安理工大学电子工程系
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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2005年5期
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