用涂层压入仪测定薄膜与基体结合强度的探讨

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用新颖的能连续加载、卸载并配有声发射监测的涂层压入仪,对薄膜与基体的结合强度进行了探讨。实验结果表明,膜或膜/基破坏的声发射信号各有特点,可区分压入过程中(含卸载)开裂和剥落及其对应的载荷值。压入法的临界载荷pc为加载过程中使膜发生初始剥落的外载,用涂层压入仪可精确测量。pc值对基体硬度和表面粗糙度的变化敏感。故用涂层压入仪可以实现用压入法考察膜/基结合强度。
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