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为进一步提高单向走丝线切割的加工质量,根据单向走丝线切割的特点,对比分析了在大气、水雾和去离子水三种介质中第三次切割Cr12Mo V模具钢时的切割速度、表面粗糙度、表面微观形貌,确定了水雾加工介质。采用单因素实验的方法分析水雾中精加工时峰值电流、脉冲宽度、水雾量等对切割速度和表面粗糙度的影响。实验结果表明：水雾中加工时表面粗糙度优于去离子水,水雾中的切割速度比气中稍高,获得了在水雾介质中精加工时各工艺参数对其切割速度和表面粗糙度的影响规律。该研究为后续水雾介质的进一步研究提供了参考的依据。