基于电涡流技术的狭缝测量装置的研制

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基于平行四边形柔性铰链的狭缝机构由步进电动机带动螺杆旋转,螺母在止转器限制下上下移动,推动导杆楔入柔性铰链使两缝片之间的缝口打开,缝口大小由电涡流传感器测量,反馈给单片机,调整步进电动机的旋转,如此形成一个闭环系统。电涡流传感器输出信号直接反映缝口大小的变化,有效地补偿了机械调节系统的误差对缝宽精度的影响。
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