【摘 要】
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主要研究了多孔-金字塔和多层多孔-金字塔两种多孔复合微结构的减反射性能.多孔-金字塔是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化学腐蚀得到的,而多层多孔-
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京航空航天大学纳米智能材料器件教育部重点实验室
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主要研究了多孔-金字塔和多层多孔-金字塔两种多孔复合微结构的减反射性能.多孔-金字塔是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化学腐蚀得到的,而多层多孔-金字塔复合微结构是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/CH3CH2OH溶液中二次电化学腐蚀得到的.用扫面电镜和UV-vis-NIR分光光度计分别分析了这两种复合结构的表面形貌和反射率.结果表明,在400～800 nm波长范围内,多孔-金字塔和多层多孔-金字塔复合微结构的平均反射率分别为5％和2.1％.多孔-金字塔微结构表面的孔洞较大,表面的金字塔有少量的塌陷,但多层多孔-金字塔微结构表面的孔洞细小且覆盖均匀,表面的金字塔基本上保持完好.通过比较,电化学方法制备的多层多孔-金字塔复合微结构的减反射效果要优于采用化学腐蚀制备的多孔-金字塔复合微结构的减反射效果.
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