【摘 要】
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国内最大的专业制造单晶炉基地企业、北京京运通真空设备厂于2005年11月28日用CCD等径控制法拉制一根6英寸,960mm长的单晶硅棒。此次是继2004年8英寸硅单晶炉研制成功,并投入
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国内最大的专业制造单晶炉基地企业、北京京运通真空设备厂于2005年11月28日用CCD等径控制法拉制一根6英寸,960mm长的单晶硅棒。此次是继2004年8英寸硅单晶炉研制成功,并投入批量生产后的又一大科学技术突破。此技术缩小了我国与国外单晶炉设备技术的距离,填补了国内的一项空白
China’s largest single-crystal furnace manufacturing base enterprises, Beijing Beijing Express vacuum equipment factory in November 28, 2005 with CCD equal path control method of drawing a 6-inch, 960mm long single-crystal silicon rods. This is the second in 2004 after the successful development of 8-inch silicon crystal furnace, and put into mass production after another major scientific and technological breakthroughs. This technology has narrowed the distance between our country and the foreign single crystal furnace equipment technology, has filled a domestic blank
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