惯性器件是导航与控制系统的核心器件之一。MEMS惯性器件由于其微型化、低功耗、低成本、批量化制造等优点，已经在汽车电子和消费类电子等中低性能精度领域得到了广泛应用，但在武器制导、飞机导航等重要应用领域迫切需求更高性能的微惯性器件。本项目围绕高性能惯性器件发展中的4个关键科学问题（限域空间内微纳结构运动界面纳米效应及调控、微纳惯性器件跨尺度制造机理与控制、微纳结构运动界面的物理特性表征、运动界面纳米效应与微纳惯性器件性能的相关性）展开研究。项目提出了微纳惯性器件跨尺度制造及超疏纳米表面制作的新方法和新工艺，提出了基于运动界面纳米效应的高性能转子式微陀螺并制作出了原理演示样机，揭示了运动界面纳米新效应和新规律。通过项目实施，建立了高性能微纳惯性器件基础研究平台，形成了一支该领域前沿科学研究的高水平研究团队。研究成果为我国高性能微纳惯性器件实现自主研发和跨越式发展奠定了坚实的基础。