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利用高速摄影技术，对磁控电弧离子镀中阴极斑点大小、寿命及运动轨迹进行了观测，得到了极斑点电流密度、运动速度随磁场、电弧电流及背景气体压力改变而变化的关系曲线。
磁控电弧离子镀阴极斑点特性的高速摄影研究
【摘 要】
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利用高速摄影技术，对磁控电弧离子镀中阴极斑点大小、寿命及运动轨迹进行了观测，得到了极斑点电流密度、运动速度随磁场、电弧电流及背景气体压力改变而变化的关系曲线。
【机 构】
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北京大学重离子物理研究所,华中理工大学电力系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年6期
【基金项目】
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国家教委留学回国人员基金
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