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介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景。
NEMS谐振器的研究与分析
【摘 要】
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介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的N
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系,中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室,浙江大学信息与电子工程学系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2005年01期
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