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半导体技术的新发展对半导体工业中所用的化工原料更强调要求质量稳定。本文原作者为日本东京Rasa工业有限公司的A.Takanoha,H.Yanai及S.Ishii。文中简要叙述了半导体工业对高纯磷及磷酸的质量要求。
高纯红磷及磷酸
【摘 要】
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半导体技术的新发展对半导体工业中所用的化工原料更强调要求质量稳定。本文原作者为日本东京Rasa工业有限公司的A.Takanoha,H.Yanai及S.Ishii。文中简要叙述了半导体工业对
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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1990年2期
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