快速吸附与脱附的声表面波H2S传感器

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本文主要研究了基于SnO2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下,工作频率约为147.8MHz)检测H2S气体的特性。以36°YXLiTaO3为基片制作声表面波器件,通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积SnO2/CuO的复合薄膜制作出H2S气体传感器。由场发射电子扫描电镜观察薄膜,薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔,因而具有良好的吸附性。然后本文在85℃~205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究。实验结果表明,所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性
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