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通过将光源和光学探测系统、电化学测量装置等与扫描探针显微镜相集成,研制了扫描近场光电多功能探针系统,在获得高分辨表面形貌像的同时还可同位测量局域光谱、光电压/光电流等光电性质,并可对固液界面光电化学过程进行原位观察。介绍了该系统的主要架构和功能及在石墨烯/氮化镓界面接触电学性质、氮化镓表面光电压等研究中的应用。通过同位的表面结构、拉曼光谱和局域导电特性的综合表征和分析,发现了石墨烯电极能够自适应地降低与半导体的接触势垒以及单个褶皱形成的局域导电通道。在紫外波段扫描光电压测试中捕捉到了单个位错所引起的局域表