【摘 要】
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Ga2O3是一种新型宽禁带半导体材料，禁带宽度约为4.8 eV,临界击穿电场理论上可高达8 MV/cm, Baliga优值超过3 000,因此在制作功率器件方面有很大的潜力。Ga2O3是继SiC和GaN之后制作高性能半导体器件的优选材料，近年来受到了广泛的关注。介绍了Ga2O3材料的基本物理性质，分析了Ga2O3基肖特基势垒二极管（SBD）的优势及存在的问题。重点从器件工艺、结构和边缘终端技术等角
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（2016ZX02301003-004-007）； 河北省自然科学基金资助项目（F2018202174）；
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Ga2O3是一种新型宽禁带半导体材料，禁带宽度约为4.8 eV,临界击穿电场理论上可高达8 MV/cm, Baliga优值超过3 000,因此在制作功率器件方面有很大的潜力。Ga2O3是继SiC和GaN之后制作高性能半导体器件的优选材料，近年来受到了广泛的关注。介绍了Ga2O3材料的基本物理性质，分析了Ga2O3基肖特基势垒二极管（SBD）的优势及存在的问题。重点从器件工艺、结构和边缘终端技术等角度评述了优化Ga2O3基SBD性能的方法，并对Ga2O3基SBD的进一步发展趋势进行了展望。
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